陶瓷軸承的精度等級通常分為ABEC-1、ABEC-3、ABEC-5、ABEC-7、ABEC-9，其中ABEC-5等級以上的陶瓷軸承被稱為高精度陶瓷軸承。此外，陶瓷滾動體的精度等級通常參考陶瓷球的精度等級劃分，包括G3、G5、G10、G16，數值越小代表精度越高1。中國生產的氮化硅陶瓷球的研磨球精度已經達到了國際標準化組織（ISO3290-2001）的G10～G5級標準，部分產品更是達到了G3級的精度標準，這一成就與日本NSK公司20世紀80年代的水平相當，甚至在某些方面實現了超越2。此外，有課題組可生產并提供各種規格的高精度陶瓷球，例如直徑為4.763mm和6.350mm的氮化硅陶瓷球，其公差等級可達G3級精度以上，球直徑變動量60nm，球形誤差60nm，表面粗糙度Ra1500MPa4。